产品应用
离子注入行业用材料
- 分类：产品应用
- 发布时间：2022-01-11 19:27:30
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概要:
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♦ 离子注入行业应用材料
离子注入作为微电子工艺中重要的掺杂技术，对材料的高温性能和耐化学侵蚀性能要求非常高，因此，电离室主要部件均采用有钨、钼或者石墨材料。
♦ 洛阳科凯可以为您提供离子注入行业用钨钼及其合金材料，其中包括：
1、钨板
2、钨棒
3、钼板
4、钼棒
5、TZM板
6、TZM棒
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